更新時間：2025-09-02
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廠商性質：生產廠家
生產地址：
| 品牌 | 其他品牌 | 產地 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 加工定製 | 是 |
加熱防腐型勻膠機 測試標準
加熱防腐型勻膠機 測試標準
加熱防腐型勻膠機
一、技術原理與核心參數
加熱防腐型旋轉塗覆儀采用聚四氟乙烯腔體，外觀美觀堅固，具有優良的化學穩定性和的耐腐蝕性，能夠用於各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。儀器采用先進的精密電機，轉速能達到 12000 轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋塗功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到 200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升溫過程可控。另外本儀器采用觸控屏控製，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。
二、關鍵性能參數
項目 | 參數要求 |
控製係統 | PLC控製係統 |
操作界麵 | 彩色7寸觸摸屏，中英文切換 |
速度範圍 | 0~ 12000rpm，精度±1 |
加速度 | 100~8000rpm/s（空載） |
腔體材質 | 聚四氟乙烯 |
加熱溫度 | 室溫+200℃ |
傳動機構 | 精密電機+驅動器和高精度步進電機，傳動穩、噪音小； |
控溫方式 | AIP 智能控溫 |
滴膠方式 | 精密注射泵(0.01~5ml ，精度士 1% ，防回流設計） |
勻膠曲線 | 每條曲線 1000 段，共可儲存 30 條曲線 |
數據 | 支持 USB 導出數據 |
抽氣接口 | φ6mm 快擰接口 |
無油真空泵 | 50L/min， |
勻膠吸盤 | Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟材質 |
打印機 | 嵌入式微型打印機 |
電壓電流 | AC220V，50Hz |
外形尺寸 | 310mm×365mm×350mm |
重量 | 15kg |
三，應用領域
光電子學領域：用於製備太陽能電池、有機發光二極管（OLED）、有機太陽能電池（OPV）等器件的薄膜塗層；
半導體與微電子製造：適用於光刻膠旋塗、晶圓表麵塗布等工藝，支持最大12英寸晶圓處理；
材料科學：可製備金屬、半導體、氧化物及聚合物等材料的均勻薄膜，尤其適合需要抗酸堿和有機溶劑的實驗環境；
生物醫學領域：用於生物傳感器、生物芯片的塗層製備，聚四氟乙烯腔體設計確保化學穩定性與耐腐蝕性；
納米科技：支持納米材料與納米薄膜的製備，高精度控溫（室溫-200℃）和轉速調節（10-12000轉/分鍾）保障工藝穩定性。
四、基礎操作流程
A安裝與準備
連接設備
連接真空泵氣管與電源線，確保螺帽擰緊。
插入設備電源線並打開總開關。
安裝吸盤與片托
根據樣品尺寸選擇吸盤，對準槽口安裝並固定螺絲。
將片托凹槽對準電機軸頂絲垂直放置。
B參數設置
選擇勻膠方案
進入操作界麵，選擇預設方案（如5段式參數）或自定義參數。
設置轉速、時間與加速度
示例：第一段速度2000轉/分鍾，時間20秒，加速度20001。
分段設置（如第二段3500轉/分鍾，第三段10000轉/分鍾）。
溫度控製（如需加熱）
設置溫度範圍（0-200℃），支持手動或自動加熱模式。
C旋塗操作
放置樣品
將基片居中放置於片托，啟動真空泵吸附固定。
啟動勻膠
轉速穩定後注入膠液，程序自動分段執行。
完成與清潔
等待轉速歸零，關閉真空泵並取出樣品。
定期清潔抽氣孔（滴酒精維護）。
D注意事項
防腐設計：聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕，避免接觸強氧化劑。
安全防護：加熱模塊高溫，操作時勿觸碰。
五、合規性要求（核心標準）
六、儀器特點
1. 防腐設計
腔體材質采用聚四氟乙烯（PTFE）或聚丙烯（PP），抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕。
部分機型配備防濺廢料罐和排液管，防止腐蝕性液體汙染環境。
2. 加熱與溫控功能
加熱範圍覆蓋室溫至200℃，控溫精度±1-2℃，適用於高溫工藝（如光刻膠烘烤）。
支持分段控溫，部分機型集成抽廢氣功能，確保工藝穩定性。
3. 高精度勻膠性能
轉速範圍10-20000轉/分鍾，電機采用無刷伺服或德國進口電機，保障薄膜均勻性（厚度誤差±1%）。
部分機型支持正反轉旋塗和分段編程，優化複雜工藝需求。
4. 智能化操作
配備觸摸屏控製、藍牙通信及PC端遠程控製軟件，支持配方存儲與掉電保護。
實時顯示轉速曲線、吸附力及報警功能（如進膠保護、吸附不足互鎖）。
5. 安全與兼容性
透明耐腐蝕蓋板（丙烯酸材質）隔絕有毒氣體，部分機型適配手套箱使用。
適配半導體、光電子等領域。
七，配置清單
主機1台；
測試軟件1套；
說明書1份;
合格證1份;
保修卡1份;
簽收單1份;
銘牌1塊;
電源線1根;
扳手1套;
宣傳冊若幹;
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